AOI扫描机

　　AOI基本原理：将扫描图像与标准图像进行逻辑比较，从而产生缺点信息。扫描图像是AOI利用光学原理，将三只灯泡(EKE 21VDC 150W)产生的三束光(一个直射光,两个45º的散射光)通过光纤照射到检测板上，再使用光学部件收集反射光形成影像。标准图像(参考资料)是将CAM资料经CRG(Camtek Reference Generator,参考资料生成器)处理后传到AOI或CRP(Camtek Reference Processor,参考资料处理器)形成的。